DC-Ⅴ型氮?dú)饧兓O(shè)備（終端純化） 技術(shù)指標(biāo)： ◆ 氣量：1～5000m3/h ◆ 純 度≥99.99995% ◆ 氧含量≤0.1PPm 氫含量≤1PPm ◆ 露 點(diǎn)≤-70℃ ◆ 含塵量≤3.5顆/升(對(duì)于粒徑≥0.5μm塵埃) 設(shè)備特點(diǎn)： 該裝置采用特殊先進(jìn)技術(shù)，雙復(fù)式流程，對(duì)原料氣要求不是很高，凈化后氣體純度較高。
